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镁和铈两种金属元素组成，具有很高的热稳定性和化学稳定性，因此在制备薄膜时具有很好的性能，溅射一种常用的薄膜制备技术，它通过将靶材置于真空室中，利用高能粒子轰击靶材表面，使其表面原子脱离并沉积在基底上，从而形成薄膜。镁铈合金溅射靶材在这个过程中起到至关重要的作用。
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